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小管径薄膜生长CVD.jpg

新材料制备设备



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主要参数(可按要求定制)

◎ 工艺管径:60mm

◎ 工作温度:1020℃ ~1050℃ 

◎ 恒温区:120mm;    

◎ 真空:3Pa;

◎ 真空恒压:手动/自动;

◎ 碳源气体:甲烷CH4

◎ 其他气体:H2,N2





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