新材料制备设备
技术简述
◎ 硅碳CVD炉通过气流鼓吹,使粉体物料悬浮在反
应容器内,与气相或液相充分进行接触和反应;
◎ 流化床反应器特点:
1、气固相接触充分,沉积碳时沉积层均匀;
2、传热和传质系数高、反应区温度均匀;
3、单位产能大,设备高效节能;
主要技术参数
◎ 气源:O2、N2、Ar、水蒸气、CO2、CH4、 C2H2和 C3H6等;
◎ 设计温度:850℃,其他温度可定制;
◎ 泄放压力:300kPa
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