主要特点

◎ 石墨烯薄膜晶圆生长产能（产业化）设备；

◎ APC系统：真空碟阀自动控制；

◎ 碳源等工艺气体MFC控制     

◎ 薄膜制备过程全自动控制；

◎ 快速冷却功能

主要参数

◎ 腔室直径：250mm

◎ 恒温区：400mm

◎ 工艺管材质：SIC/石英

◎ 极限真空：小于3Pa；

◎ 装取料方式：升降机构（速度可调）

◎ 工艺温度：1020℃~1050℃